測量表面清潔度的方法多種多樣，例如：基于熒光分析法或基于X 射線(xiàn)的方法，然而這些方法的缺點(diǎn)也很明顯，包括限制對某些類(lèi)型的污染的驗證、傳感器的距離對結果產(chǎn)生的結果較大、器昂貴及測量成本高。相比之下，接觸角測量法在測量表面清潔度方面提供了更可行的解決方案。
接觸角測量法是一種即使在小污染方面也能實(shí)現高靈敏度方法。根據 Young 方程，液滴在固體表面的形狀取決于液體的表面張力和樣品表面的表面能。不溶性污染（油脂、油等）會(huì )形成低表面能的表面，從而產(chǎn)生更大的接觸角。有界面活性的污染物（表面活性劑等）會(huì )溶解在液滴中，導致表面張力下降，從而接觸角也會(huì )隨時(shí)間降低。
該方法的優(yōu)點(diǎn)是為您提供有關(guān)雜質(zhì)（可溶性/不溶性）類(lèi)型和位置的相關(guān)信息，并且易于應用。它是非破壞式的，可以使用移動(dòng)式測量設備在任何地方執行。
LCD系列表面清潔分析儀為美國科諾研制的行業(yè)性分析儀器，可在分析測試水滴在液晶屏、晶圓（Wafer）、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基礎上，進(jìn)而分析Plasma效果，是一種基于界面化學(xué)分析系統的表面清潔度測試系統。該儀器由主機和CAST™2.0水滴角分析軟件兩個(gè)部分組成。根據樣品臺移動(dòng)方式不同，我們將主機分為自動(dòng)（LCD1000A）、手動(dòng)（LCD1000M）兩種。樣品臺尺寸及其控制行程可根據客戶(hù)要求定制。
